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測試裝置與其探針結構

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2022-02-09
  • 技術成熟度:通過小試
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN200710088841.2 
  • 技術(專利)名稱 測試裝置與其探針結構 
  • 項目單位 南亞科技股份有限公司
  • 發明人 巫家瑋 
  • 行業類別 醫藥制造-藥用輔料
  • 技術成熟度 通過小試
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 陳白峰
  • 發布時間 2022-02-09  
  • 01

    項目簡介

    本發明是有關于一種分離式結構的探針,用來接觸一待測物,以對其電氣特性進行探測。本發明所提供的探針具有一接觸頭,可以用來接觸待測物,并且此探針具有一第一針體和一第二針體。其中,第一針體與接觸頭互相連接,以傳送一測試訊號到待測物上來進行探測。另外,第二針體也連接到接觸頭,其用來傳送待測物因為測試訊號所產生的一回應訊號,以獲得待測物的電氣特性。本發明所提供的探針具有較小的訊號衰減度,進而使本發明提供的偵測裝置能夠較精確地量測待測物的電氣特性。
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  • 02

    說明書

    1.一種分離式結構的探針,適于接觸一待測物,以對該待測物的電氣特性進行探測,該探針連接至一電路板,該電路板具有一第一表面和一第二表面,且該第一表面具有一第一訊號傳輸走線,該第二表面具有一第二訊號傳輸走線,其特征在于該探針具有:一第一訊號端,連接至該第一訊號傳輸走線;一第二訊號端,連接至該第二訊號傳輸走線;一接觸頭,用以接觸該待測物;一第一針體,連接該接觸頭與該第一訊號端,該第一針體從該第一訊號傳輸走線接收一測試訊號,并從該接觸頭送至該待測物上,以使該待測物產生一回應訊號;以及一第二針體,連接該接觸頭與該第二訊號端,用以傳送該待測物對該測試訊號所產生的一回應訊號至該第二訊號端。2.根據權利要求1所述的分離式結構的探針,其特征在于其中所述的接觸頭、第一針體和第二針體的材質為鎢鋼、鈹銅或鈀合金。3.根據權利要求1所述的分離式結構的探針,其特征在于其中所述的待測物包含晶圓上的各晶粒和一半導體元件二者其中之一。4.一種具有低訊號衰減的測試裝置,適于量測一待測物的電氣特性,其特征在于該測試裝置包括:一電路板,具有一第一表面和一第二表面,且該第一表面具有一第一訊號傳輸走線,該第二表面具有一第二訊號傳輸走線;一第一探針,具有一接觸端,用以接觸該待測物,并具有一第一訊號端和一第二訊號端,其中該第一訊號端連接至該第一訊號傳輸走線,該第二訊號端連接至該第二訊號傳輸走線,其中該第一探針透過該第一訊號端從該第一訊號傳輸走線接收一測試訊號,并從該接觸端送至該待測物上,以使該待測物產生一回應訊號,而該第一探針再透過該第二訊號端將該回應訊號送至該第二訊號傳輸走線,以量測該待測物的電氣特性。5.根據權利要求4所述的具有低訊號衰減的測試裝置,其特征在于其更包括:一第二探針,其中一端用以接觸該待測物,另一端則電性連接至該電路板,以連接一共同電壓;以及一第三探針,其中一端用以接觸該待測物,另一端則電性連接至該電路板,以連接該共同電壓。6.根據權利要求5所述的具有低訊號衰減的測試裝置,其特征在于其中所述的共同電壓的電位為接地電位。7.根據權利要求5所述的具有低訊號衰減的測試裝置,其特征在于其更包括:一第四探針,其中一端連接至該第二探針,另一端則電性連接至該電路板,以連接該共同電壓;以及一第五探針,其中一端連接至該第三探針,另一端則電性連接至該電路板,以連接該共同電壓。8.根據權利要求7所述的具有低訊號衰減的測試裝置,其特征在于其中所述的第一探針、第二探針、第三探針、第四探針和第五探針的材質為鎢鋼、鈹銅或鈀合金。9.根據權利要求4所述的具有低訊號衰減的測試裝置,其特征在于其中所述的第一探針的材質為鈹銅或鈀合金。10.根據權利要求4所述的具有低訊號衰減的測試裝置,其特征在于其中所述的待測物包含晶圓上的各晶粒和一半導體元件二者其中之一。
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