本發(fā)明公開了一種氮化鎵功率器件管殼接觸熱阻測量方法，涉及功率器件熱阻檢測技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括以下步驟：用瞬態(tài)紅外測溫設(shè)備測量器件兩種接觸熱阻條件下的降溫曲線；用結(jié)構(gòu)函數(shù)法得到兩條降溫曲線的兩條積分結(jié)構(gòu)函數(shù)曲線；利用積分結(jié)構(gòu)函數(shù)曲線得到結(jié)殼熱阻的值，即接觸熱阻的起點(diǎn)；平移低熱阻曲線得到高熱阻條件下的接觸熱阻，平移高熱阻曲線得到低熱阻條件下的接觸熱阻。本發(fā)明利用瞬態(tài)紅外測溫設(shè)備測量器件在兩種不同熱阻抗條件下的降溫曲線，用結(jié)構(gòu)函數(shù)法分析兩條降溫曲線，得到積分結(jié)構(gòu)函數(shù)曲線，經(jīng)過兩次曲線對比確定接觸熱阻，實(shí)現(xiàn)對氮化鎵功率器件管殼與載體接觸熱阻的測量，準(zhǔn)確性高。

1.一種氮化鎵功率器件管殼接觸熱阻測量方法，其特征在于，包括以下步驟：
1)用瞬態(tài)紅外測溫設(shè)備測量被測器件(1)兩種接觸熱阻條件即高熱阻條件和低熱阻條
件下的兩條降溫曲線；
2)用結(jié)構(gòu)函數(shù)法得到兩條降溫曲線的兩條積分結(jié)構(gòu)函數(shù)曲線；
3)利用積分結(jié)構(gòu)函數(shù)曲線得到結(jié)殼熱阻的值：根據(jù)瞬態(tài)雙界面結(jié)殼熱阻測量方法，兩
條積分結(jié)構(gòu)函數(shù)曲線的分離點(diǎn)的橫坐標(biāo)對應(yīng)的就是結(jié)殼熱阻，所以通過觀察兩條曲線的分
離點(diǎn)可以確定結(jié)殼熱阻，此點(diǎn)是接觸熱阻的起點(diǎn)；
4)平移低熱阻曲線得到高熱阻條件下的接觸熱阻：橫向平移低熱阻曲線，使其右端與
高熱阻曲線重合，重合的部分代表載體熱阻、載體與控溫平臺的接觸熱阻，兩條曲線的分離
點(diǎn)就是高熱阻條件下接觸熱阻的終點(diǎn)；
平移高熱阻曲線得到低熱阻條件下的接觸熱阻：橫向平移高熱阻曲線，使其右端與低
熱阻曲線重合，重合的部分代表載體熱阻、載體與控溫平臺的接觸熱阻，兩條曲線的分離點(diǎn)
就是低熱阻條件下接觸熱阻的終點(diǎn)；
5)高熱阻條件下接觸熱阻的終點(diǎn)與接觸熱阻的起點(diǎn)之差即為高熱阻條件下的接觸熱
阻；
低熱阻條件下接觸熱阻的終點(diǎn)與接觸熱阻的起點(diǎn)之差即為低熱阻條件下的接觸熱阻。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鎵功率器件管殼接觸熱阻測量方法，其特征在于，兩種接
觸熱阻條件中，選用的高熱阻條件下的接觸材料為空氣，低熱阻條件下的接觸材料為導(dǎo)熱
硅脂或銦片。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鎵功率器件管殼接觸熱阻測量方法，其特征在于，兩種接
觸熱阻條件中，選用的高熱阻條件下的接觸材料為導(dǎo)熱硅脂，低熱阻條件下的接觸材料為
銦片。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鎵功率器件管殼接觸熱阻測量方法，其特征在于，所述瞬
態(tài)紅外測溫設(shè)備為瞬態(tài)紅外溫度測量系統(tǒng)，瞬態(tài)紅外溫度測量系統(tǒng)包括紅外輻射探測器、
放大電路、數(shù)據(jù)采集卡及工控機(jī)，紅外輻射探測器與放大電路的信號輸入端連接，用于采集
被測器件發(fā)出的紅外輻射信號；放大電路與數(shù)據(jù)采集卡的信號輸入端連接，用于將采集的
紅外輻射信號進(jìn)行放大處理；數(shù)據(jù)采集卡與工控機(jī)進(jìn)行雙向數(shù)據(jù)交互，用于根據(jù)工控機(jī)的
控制進(jìn)行數(shù)據(jù)采集，工控機(jī)用于處理數(shù)據(jù)采集卡采集的數(shù)據(jù)，并將采集卡采集的電信號轉(zhuǎn)
換為溫度數(shù)據(jù)進(jìn)行存儲并顯示；其中，工控機(jī)內(nèi)設(shè)有控制軟件模塊和數(shù)據(jù)處理及顯示軟件
模塊，測量系統(tǒng)工作時(shí)，通過控制軟件模塊選擇數(shù)據(jù)采集卡的工作模式，數(shù)據(jù)處理及顯示軟
件模塊用于處理并顯示采集的數(shù)據(jù)。