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一種基于磁力感測的形狀探針并行制作微平臺及制作方法

  • 專利類型:發明專利
  • 有效期:不限
  • 發布日期:2021-06-28
  • 技術成熟度:通過小試
交易價格: ¥面議
  • 法律狀態核實
  • 簽署交易協議
  • 代辦官方過戶
  • 交易成功

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  • 技術(專利)類型 發明專利
  • 申請號/專利號 CN201910791609.8 
  • 技術(專利)名稱 一種基于磁力感測的形狀探針并行制作微平臺及制作方法 
  • 項目單位 上海大學
  • 發明人 沈斐玲,曹寧,李恒宇,岳濤,謝少榮,羅均 
  • 行業類別
  • 技術成熟度 通過小試
  • 交易價格 ¥面議
  • 聯系人 楊蘭琴
  • 發布時間 2021-06-28  
  • 01

    項目簡介

    本發明屬于微納技術領域,具體公開了一種基于磁力感測的形狀探針并行制作微平臺及制作方法,所述微平臺包括基礎平臺,基礎平臺上設有探針軸向間距調整單元,探針軸向間距調整單元包括至少兩個滾軸絲杠螺母臺,每個滾珠絲杠螺母臺上設有旋轉動力單元,各旋轉動力單元同軸線設置,每個旋轉動力單元上安裝有磁力感測模塊,磁力感測模塊上固定連接有周向旋轉模塊,各周向旋轉模塊通過旋轉動力單元做同軸線轉動;周向旋轉模塊上內嵌有探針并行裝夾單元,探針并行裝夾單元上裝夾有多個平行設置的探針,每個探針依次貫穿各個周向旋轉模塊。本發明的微平臺具有結構簡單、磁力感測、并行制作、同時批量制作復雜相似探針形狀等特點。
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  • 02

    說明書

    1.一種基于磁力感測的探針并行制作微平臺,其特征在于,包括基礎平臺,基礎平臺上設有探針軸向間距調整單元,探針軸向間距調整單元包括至少兩個滾珠絲杠螺母臺,每個滾珠絲杠螺母臺上設有旋轉動力單元,各旋轉動力單元同軸線設置,每個旋轉動力單元上安裝有磁力感測模塊,磁力感測模塊上固定連接有周向旋轉模塊,各周向旋轉模塊通過旋轉動力單元同軸線轉動;周向旋轉模塊上內嵌有探針并行裝夾單元,探針并行裝夾單元上裝夾有多個平行設置的探針,每個探針依次貫穿各個周向旋轉模塊。2.根據權利要求1所述的基于磁力感測的探針并行制作微平臺,其特征在于,所述滾珠絲杠螺母臺設有三個。3.一種利用權利要求1或2所述基于磁力感測的探針并行制作微平臺制作探針的方法,其特征在于,包括以下步驟:(1)根據任務需要進行計算機模擬,首先根據需要制作的探針形狀計算相鄰周向旋轉模塊之間的軸向間距,調整探針軸向間距調整單元上的滾珠絲杠螺母臺,使相鄰周向旋轉模塊之間的軸向間距與計算的軸向間距結果相等;(2)驅動旋轉動力單元,使所有周向旋轉模塊旋轉至相同位置,將多個探針依次安裝在探針并行裝夾單元上;(3)根據需要制作的探針形狀計算每一個周向旋轉模塊相對于軸的轉動方向和轉動角度,根據計算結果控制旋轉動力單元,使每一個周向旋轉模塊按計算結果所示的轉動方向和角度進行轉動,周向旋轉模塊轉動過程中采用磁力感測模塊實時檢測磁抗力和精確反饋周向旋轉模塊施加的主動力,磁力感測模塊將檢測的電信號實時發送至計算機,計算機對接收的電信號進行耦合計算,并根據耦合計算結果聯合控制旋轉動力單元工作,精確控制每一個軸向旋轉模塊的轉動方向和角度,完成多個形狀相似探針的批量制作,得到n個形狀相似的探針。
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