為了消除或以其他方式減小由探針臂夾持的探針組件的探針尖端的非預(yù)期運動，探針組件包括一個或多個彈性部件，該彈性部件根據(jù)制造探針臂的材料的熱膨脹系數(shù)來補償探針臂的收縮或膨脹。因此，在自動化的全刻度或?qū)捒潭葴囟确秶鷴呙杵陂g，探針尖端能夠在樣品上的期望位置與在測樣品保持接觸。

1.一種在具有用于接收待測樣品的艙體的探針臺中使用的探針組件，所
述探針組件包括：
探針體；以及
探針尖端，其中所述探針組件在所述艙體內(nèi)被具有縱向軸線的探針臂支
撐，其特征在于：
連接到所述探針體的彈性部件，
其中，所述探針尖端連接到所述彈性部件，
其中，所述探針尖端構(gòu)造成在待測位置處與所述艙體內(nèi)的樣品接觸，并且，
其中，所述彈性部件構(gòu)造成阻止所述探針尖端在平行于所述探針臂的所述
縱向軸線的方向上從所述位置運動，所述運動由所述探針臂由于艙體內(nèi)的溫度
變化所導(dǎo)致的收縮或膨脹產(chǎn)生。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針組件，其中，所述彈性部件阻止所述探針
尖端在1.5K至475K的溫度范圍內(nèi)的從所述樣品上的所述位置的運動。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針組件，其中，所述彈性部件阻止所述探針
尖端在1.5K至475K之間的溫度范圍內(nèi)的從所述樣品上的所述位置的運動。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針組件，其中，所述彈性部件阻止所述探針
尖端在一個溫度范圍內(nèi)的從所述樣品上的所述位置的運動，所述一個溫度范圍
的大小大于10K。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針組件，其中，所述彈性部件阻止所述探針
尖端在平行于所述探針臂的所述縱向軸線的方向上從所述位置運動，所述運動
由外部振動引起。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針組件，其中，所述彈性部件將所述探針尖
端從所述樣品上的所述位置的運動限制為小于5μm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針組件，其中，所述彈性部件包括豎直部件，
并且，
其中，所述豎直部件是豎直棒、片簧和雙片簧之一。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針組件，其中，所述豎直部件的長度在5mm
至50mm之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的探針組件，其中，所述彈性部件還包括水平部
件，
其中，所述水平部件是水平棒和成角度的水平棒之一，并且
其中，所述豎直部件與所述水平部件相連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探針組件，其中，所述豎直部件和所述水平部
件基本上互相垂直。
11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探針組件，其中，所述水平部件的長度在2至
50mm之間。
12.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探針組件，其中，所述豎直部件的長度大于所
述水平部件的長度。
13.根據(jù)權(quán)利要求9所述的探針組件，其中，所述探針尖端與所述豎直部
件和所述水平部件之一成整體。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的探針組件，其中，所述探針尖端與所述彈性部
件整體地形成。