1.一種用于半導體制造的泵，包括：
一個或多個馬達，用于將流體吸入泵的進口內和從泵的出口分配
流體；
可拆卸的過濾器，所述過濾器布置在泵的進口和出口之間的流體
流動通路中；以及
泵控制器，所述泵控制器設置成根據過濾器類型和處理流體而從
一組起動加注例程中選擇起動加注例程，其中，所述一組起動加注例
程包括：
第一起動加注例程，所述第一起動加注例程包括向前加壓
段，用于第一類型的可拆卸的過濾器；以及
第二起動加注例程，所述第二起動加注例程包括反向加壓
段，用于第二類型的可拆卸的過濾器；
控制所述泵來執行選定的起動加注例程，以便起動加注所述可拆
卸的過濾器。
2.根據權利要求1所述的泵，其中：泵控制器設置成選擇第一起
動加注例程，用于具有單個過濾器薄膜的可拆卸的過濾器。
3.根據權利要求1所述的泵，其中：泵控制器設置成選擇第二起
動加注例程，用于具有多個過濾器薄膜的可拆卸的過濾器。
4.根據權利要求1所述的泵，其中：當選擇第二起動加注例程時
控制所述泵來執行選定的起動加注例程包括將處理流體引入可拆卸的
過濾器以及反向加壓可拆卸的過濾器預定時間段。
5.根據權利要求4所述的泵，其中：所述泵包括：
供給腔室；
分配腔室；
隔離閥，所述隔離閥在供給腔室和可拆卸的過濾器之間；
阻擋閥，所述阻擋閥在可拆卸的過濾器和分配腔室之間；以及
通氣閥，所述通氣閥與可拆卸的過濾器流體連通；
其中，反向加壓可拆卸的過濾器包括在隔離閥和通氣閥關閉以及
阻擋閥打開的情況下加壓分配腔室內的流體。
6.根據權利要求4所述的泵，其中：泵控制器設置成控制泵，以
便反向加壓可拆卸的過濾器5-10分鐘。
7.根據權利要求6所述的泵，其中：泵控制器設置成控制泵，以
便在5-25psi的恒定壓力下反向加壓可拆卸的過濾器。
8.根據權利要求1所述的泵，其中：第二起動加注例程還包括在
反向加壓可拆卸的過濾器之前推動流體通過可拆卸的過濾器。
9.根據權利要求1所述的泵，其中：第二起動加注例程包括通氣
循環、清除至通氣循環、清除至進口循環、反向沖洗和第二清除至通
氣循環。
10.根據權利要求9所述的泵，其中：通氣循環、清除至通氣循
環和清除至進口循環在反向加壓可拆卸的過濾器之前進行，反向沖洗
和第二清除至通氣循環在反向加壓可拆卸的過濾器之后進行。
11.一種用于在半導體制造泵中起動加注過濾器的方法，包括：
使得可拆卸的過濾器與泵連接；
根據過濾器的類型和處理流體來選擇用于可拆卸的過濾器的起動
加注例程；以及
根據選擇的起動加注例程來操作泵，其中，根據選定的起動加注
例程來操作泵包括將處理流體引入可拆卸的過濾器以及反向加壓可拆
卸的過濾器預定時間段。
12.根據權利要求11所述的方法，還包括：反向加壓可拆卸的過
濾器5-10分鐘。
13.根據權利要求12所述的方法，還包括：在5-25psi的恒定壓
力下反向加壓可拆卸的過濾器。
14.根據權利要求11所述的方法，其中：選擇的起動加注例程還
包括通氣循環、清除至通氣循環、清除至進口循環、反向沖洗和第二
清除至通氣循環。
15.根據權利要求14所述的方法，其中：通氣循環、清除至通氣
循環和清除至進口循環在反向加壓可拆卸的過濾器之前進行，反向沖
洗和第二清除至通氣循環在反向加壓可拆卸的過濾器之后進行。
展開
