本發明的氣體激光振蕩器具備：共振器部；熱交換器，其流過與激光氣體進行熱交換的流體；冷卻器，其冷卻熱交換器內的流體，提供到熱交換器內；熱傳導裝置，其向共振器部傳導流體的熱，氣體激光振蕩器還具備：第一流路，其向熱傳導裝置提供熱交換器內的用于激光氣體的冷卻的流體；第二流路，其在向熱交換器內提供之前向熱傳導裝置提供通過冷卻器冷卻后的流體；切換閥，其切換為第一流路和第二流路的任意一方。

1.一種氣體激光振蕩器，其特征在于，具備：
共振器部，其具有通過放電激勵激光氣體的放電部，使通過對上述激光氣體的激勵而
產生的激光振蕩；
熱交換器，其流過與上述激光氣體進行熱交換的流體；
冷卻器，其吸出上述熱交換器內的上述流體，將該流體冷卻并提供到上述熱交換器內；
熱傳導裝置，其向上述共振器部傳導上述流體的熱；
第一流路，其從上述熱交換器向上述熱傳導裝置提供上述熱交換器內的用于上述激光
氣體的冷卻的上述流體；
第二流路，其在將通過上述冷卻器進行了冷卻的上述流體提供到上述熱交換器內之前
提供給上述熱傳導裝置；
切換閥，其切換為上述第一流路和上述第二流路中的任意一方；
調整閥，其調整通過上述冷卻器進行了冷卻的應該提供給上述熱交換器的上述流體的
流量；以及
振蕩防止裝置，其防止上述共振器部的上述激光的振蕩。
2.根據權利要求1所述的氣體激光振蕩器，其特征在于，還具備：
溫度傳感器，其測定上述共振器部的溫度；和
控制裝置，其將通過上述溫度傳感器測定的測定溫度與預定的溫度進行比較，根據該
比較結果來控制上述切換閥。
3.根據權利要求1所述的氣體激光振蕩器，其特征在于，還具備：
溫度傳感器，其測定上述共振器部的溫度；
控制裝置，其將通過上述溫度傳感器測定的測定溫度與預定的溫度進行比較，根據該
比較結果來控制上述切換閥、上述調整閥以及上述振蕩防止裝置中的至少一個。
4.根據權利要求1～3中的任意一項所述的氣體激光振蕩器，其特征在于，
上述熱傳導裝置具備：散熱器，其流過來自上述第一流路和上述第二流路中的任意一
方的上述流體；以及
風扇，其向上述共振器部送風上述散熱器的熱。
5.根據權利要求1～3中的任意一項所述的氣體激光振蕩器，其特征在于，具備：
上述熱傳導裝置具備第三流路，該第三流路流過來自上述第一流路和上述第二流路中
的任意一方的上述流體，在上述共振器部形成上述第三流路。