本發明公開了一種高溫金屬有機化學氣相淀積反應器，包括殼體、反應室、送樣室、真空裝置、尾氣處理裝置以及操作控制裝置，其特征在于：所述反應室為上底面小于下底面的錐桶形結構，包括多邊形錐臺式襯底托及套于襯底托外側的內罩，所述內罩的傾角大于襯底托傾角3°～5°，形成反應氣體通道，反應氣體自下經氣體通道由反應室頂部的出氣口排出；沿襯底托的外緣斜面布置有復數個襯底鋪設位，所述內罩上設有與監測點配合的光學窗口，供操作控制裝置實時監控。本發明通過錐桶形結構的反應室，使送氣方向與浮熱方向基本一致，減少渦流產生，防止預反應的發生，提高了外延材料的質量和均勻性。

1.?一種高溫金屬有機化學氣相淀積反應器，包括殼體、反應室、送樣室、真空裝置、尾氣處理裝置以及操作控制裝置，所述反應室位于被抽真空的殼體內，用于淀積反應的襯底及為襯底加熱的加熱組件置于反應室內，其特征在于：所述反應室為上底面小于下底面的錐桶形結構，包括多邊形錐臺式襯底托(3)及套于襯底托(3)外側的內罩(4)，所述內罩內壁的傾角比襯底托(3)外表面的傾角大3°～5°，兩者間構成反應氣體通道，反應氣體自下經氣體通道由反應室頂部的出氣口(9)排出；沿襯底托(3)的外緣斜面布置有復數個襯底鋪設位(1)，所述內罩(4)上設有與監測點配合的光學窗口(2)，供操作控制裝置實時監控。2.?根據權利要求1所述的高溫金屬有機化學氣相淀積反應器，其特征在于：所述襯底托(3)為6～10邊形的錐臺式石墨托，其表面的傾角為3°～5°，沿每一傾斜面的延伸方向上，布有4～6層下凹式襯底鋪設位(1)。3.?根據權利要求1所述的高溫金屬有機化學氣相淀積反應器，其特征在于：所述內罩(4)外套有遮蓋所述光學窗口(2)的外罩(5)，該外罩(5)的傾角大于內罩(4)傾角，形成供防止光學窗口(2)堵塞的光學窗口保護氣體(12)穿過的氣流通道。4.?根據權利要求1或2所述的高溫金屬有機化學氣相淀積反應器，其特征在于：所述加熱組件位于所述襯底托(3)內，由復數個加熱電阻絲(8)構成，分別控制加熱溫度。5.?根據權利要求1所述的高溫金屬有機化學氣相淀積反應器，其特征在于：所述襯底選自單晶Si、GaAs、SiC、GaN或藍寶石中的一種。