一種覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，包括過濾器、流量計、風機、水洗塔、多級循環水泵、多個循環液儲池、以及控制系統，過濾器連接流量計，流量計連接風機，風機連接水洗塔，所述水洗塔包括：進風口、孔板均風板、多個噴淋器、塔板、廢氣出口，所述多個循環液儲池與所述塔板連接，所述多個循環液儲池還通過多級循環水泵連接多個噴淋器，所述塔板繞其外邊緣設有一圈凹槽，塔板的中間設有一圓形開口，該圓形開口的直徑小于凹槽內邊沿的直徑，所述塔板的上端面支撐有多個排導流斜板，導流斜板的上端面設有多條固定導流斜板的鋼板。本發明使氣流分布更加均勻，降低了塔板的阻力，采用多級單獨循環吸收，DMF的吸收率可高達98.5%。

1.一種覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：包括過濾器、流量計、風
機、水洗塔、多級循環水泵、多個循環液儲池、以及控制系統，過濾器連接流量計，流量計連
接風機，風機連接水洗塔，所述水洗塔包括：進風口、孔板均風板、多個噴淋器、塔板、廢氣出
口，所述多個循環液儲池與所述塔板連接，所述多個循環液儲池還通過多級循環水泵連接
多個噴淋器，所述塔板繞其外邊緣設有一圈凹槽，塔板的中間設有一圓形開口，該圓形開口
的直徑小于凹槽內邊沿的直徑，所述塔板的上端面支撐有多個導流斜板，導流斜板的上端
面設有多條固定導流斜板的鋼板，所述導流斜板沿所述塔板的中心線對稱分布且間距相
等，該間距上方設有一可蓋住該間距的彎板，所述導流斜板與彎板的平面投影在塔板，并將
所述塔板中心的圓形開口覆蓋，所述塔板與水洗塔塔壁之間具有1～5cm的縫隙，所述塔板
與塔壁的所述縫隙上方設有一圈焊接在塔壁上的傾斜板，該傾斜板的斜面向下，傾斜板投
影面可蓋住所述縫隙。
2.如權利要求1所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述孔板
均風板的板面開設有復數個開孔直徑在10～16mm的小孔，所述小孔均勻分布且呈菱形排
列，相鄰兩個小孔的邊線距離為8～14mm。
3.如權利要求1所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：該傾斜板
的斜面向下，斜面與塔壁的夾角為75～85°。
4.如權利要求1所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述水洗
塔從下往上依次包括：進風口、孔板均風板、第三噴淋室、第三噴淋器、第二除霧器、第二塔
板、第二填料層、第二噴淋室、第二噴淋器、第一塔板、第一填料層、第一噴淋室、第一噴淋
器、第一除霧器、廢氣出口。
5.如權利要求4所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述導流
斜板包括斜板、排液溝及折彎段，斜板傾斜設置且與第二塔板的傾斜角度為60°，所述排液
溝與斜板下端連接，所述折彎段與斜板上端連接呈90°彎折，每段斜板的長度恰好將排液溝
的液體排入所述凹槽。
6.如權利要求4所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述第三
噴淋器設于水洗塔下部，第三噴淋器包括上、下兩層，上、下兩層的噴水孔相互錯開設置。
7.如權利要求4所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述第一
填料層選用比表面積為250m²/m³的金屬絲網填料，第二填料層選用比表面積為500m²/m³的
金屬絲網填料。
8.如權利要求4所述的覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收裝置，其特征在于：所述第一
噴淋器、第二噴淋器及第三噴淋器上分別設有第一控制閥、第二控制閥及第三控制閥，所述
第一控制閥、第二控制閥及第三控制閥分別與所述控制系統連接。
9.一種覆銅板制造用的DMF廢氣水洗回收方法，采用如權利要求1-8任一所述的覆銅板
制造用的DMF廢氣水洗回收裝置。
10.如權利要求9所述的回收方法，其特征在于：當所述循環液儲池的DMF濃度達到相應
控制范圍的高限值時，由相應的循環水泵把相應循環液儲池的儲液從濃度低的儲池泵入高
一級濃度的儲池，同時，所述循環液儲池還由控制系統通過液位高度調整進入所述噴淋器
的控制閥開度，當所述循環液儲池的液位超過控制高度時開大控制閥開度，當所述循環液
儲池液位太高時關小控制閥開度，液位太低時由上一級儲池泵液補充。